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  • 제품: 제품명, 제품설명, 모델명

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    FAQ: 제목, 내용

  • 제품카탈로그: 카탈로그명, 카탈로그 번호

    사용설명서: 시리즈번호, 제품명, 상세타입, 모델명

    미디어: 제목, 내용

  1. 반도체 산업
  2. 전기차 xEV
  3. 의료기기·의약품 산업
  4. 렌즈 업계
  5. 베어링 업계
반도체 산업
반도체 산업의 제조, 개발 및 생산을 지원하는 미쓰도요의 정밀 측정 기기

전기자동차로의 생산 전환, 5G 실용화에 따른 서비스
확대 등의 영향으로 급성장하고 있는 반도체 산업의
발전을 위해 폭넓은 필드에서의 측정 과제를 해결합니다.

  • 1
    자동차
  • 2
    스마트폰
  • 3
    디지털 가전제품
  • 4
    고속 철도
  • 5
    서버 ・ 클라우드 데이터센터

반도체 제조 프로세스

  • 반도체 전공정

    • 01웨이퍼의 조달
    • 02패턴형성 ~ 소자형성
    • 03평탄화 CMP
    • 04배선 형성
    • 05웨이퍼 검사
  • 반도체 후공정

    • 01다이싱
    • 02다이 본딩 ~ 와이어 본딩
    • 03봉입 · 분리
    • 04마킹 ~ 리드 가공

반도체 전공정 어플리케이션

  • 웨이퍼의 조달

    잉곳 외경
    레이저 스캔 마이크로미터
    A/N MARK(SEMI규격):
    폭, 위치, 도트 지름 및 깊이
    화상 측정기 퀵 비전 Pro
    비접촉 3D 계측 시스템 Hyper QV WLI
  • 패턴 형성 ~ 소자 형성

    노광 장치
    고정밀 리니어 스케일
    CVD 장치용 부품: 세라믹 히터, 실리콘

    평탄도, 단면 형상 해석, 표면 조도
    3차원 측정기
    표면 조도 측정기
    윤곽 형상 측정기
    비접촉 변위 센서 탑재 화상 측정기 QVH4 Pro
    CVD 장치용 부품: 샤워헤드
    노즐 홀의 내경, 진원도, 위치도
    논스톱 화상 측정기 퀵 비전 Pro 스트림 기능 탑재
  • 평탄화 CMP (Chemical Mechanical Polishing)

    웨이퍼 두께
    고정도 리니어 게이지 LGH
    고정도 디지털 측정기 라이트매틱 VL-50
    뒷면 조도
    표면 조도 측정기
    CMP 장치용 부품: 연마 패드
    홈 폭, 홈 깊이, 홈 피치, 표면 조도
    화상 측정기 퀵 비전 Pro
    표면 조도 측정기
  • 배선 형성

    에칭 장치용 부품: 정전 척, 실리콘 링
    평탄도, 단면 형상, 표면 조도
    3차원 측정기
    표면 조도 측정기
    윤곽 형상 측정기
    비접촉 변위 센서 탑재 화상 측정기 QVH4 Pro
    에칭 장치용 부품: 샤워헤드
    노즐 홀의 내경, 진원도, 위치도
    논스톱 화상 측정기 퀵 비전 Pro 스트림 기능 탑재
  • 웨이퍼 검사

    프로브 카드, IC테스트 소켓
    논스톱 화상 측정기 퀵 비전 Pro 스트림 기능 탑재
    측정 현미경
    웨이퍼 프로버, 프로브 니들
    현미경 유닛 VMU
    측정 현미경
    투영기

반도체 후공정 어플리케이션

  • 다이싱

    절단면 관찰
    측정 현미경
    칩 두께
    고정도 리니어 게이지 LGH
    절단 후 뒷면의 돌기 높이
    비접촉 3D 계측 시스템 Hyper QV WLI
    측정 현미경
  • 다이 본딩 ~ 와이어 본딩

    리드 프레임
    폭, 피치, 높이, 비틀림 등
    화상 측정기
    측정 현미경
    와이어 루프 높이
    화상 측정기 퀵 비전 Pro
    비접촉 3D 계측 시스템 Hyper QV WLI
    측정 현미경
  • 마킹 ~ 리드 가공

    리드 폭, 피치, 높이 불균형
    화상 측정기
    측정 현미경
    리드 폭, 피치, 간극
    레이저 스캔 마이크로미터
    납땜 볼의 높이, 직경, 피치
    패키지 기판의 코플래너리티
    비접촉 변위 센서 탑재 화상 측정기 QVH4 Pro
    비접촉 3D 계측 시스템 Hyper QV WLI
    측정 현미경